Вода деионизированная, т.е. почти, но не совсем дистиллированная. Требования к качеству воды для электронной промышленности РФ ОСТ 11.029.003-80 и США по ASTM D-5127-90
Сводная таблица марки (категории) деионизированной воды по ОСТ 11.029.003.-80 и ASTM D-5127-90. Ниже подробная таблица по ОСТ 11.029.003.-80 .
Параметры воды |
Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 |
Марка воды по нормам
ASTM D-5127-90 |
А |
Б |
В |
Е-1 |
Е-2 |
Е-3 |
Е-4 |
Удельное сопротивление при температуре 20°С, МОм/см |
18 |
10 |
1 |
18 |
17,5 |
12 |
0,5 |
Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более |
1,0 |
1,5 |
|
Общий органический углерод, мкг/л, не более |
|
25 |
50 |
300 |
1000 |
Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более |
0,01 |
0,05 |
0,2 |
0,005 |
0,01 |
0,05 |
1,0 |
Содержание железа, мг/л, не более |
0,015 |
0,02 |
0,03 |
|
Содержание меди, мг/л, не более |
0,005 |
0,001 |
0,002 |
0,5 |
Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более |
20 |
50 |
не регла-мент. |
|
Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не более |
2 |
8 |
не регла-мент. |
Хлориды, мкг/л, не более |
|
1 |
10 |
1000 |
Никель, мкг/л, не более |
0,1 |
1 |
2 |
500 |
Нитраты, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
Фосфаты, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
Сульфат, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
Калий, мкг/л, не более |
2 |
5 |
500 |
Натрий, мкг/л, не более |
0,5 |
1 |
5 |
500 |
Цинк, мкг/л, не более |
0,5 |
1 |
5 |
500 |
Таблица марки (категории) деионизированной воды по ОСТ 11.029.003.-80
№ |
Показатель |
Норма для категории |
1 |
2 |
3 |
1. |
Водородный показатель, единицы рН |
6,0-9,0 |
6,5-8,5 |
5,4-6,6 |
2. |
Общая минерализация (сухой остаток), мг/л, не более |
1000 |
400 |
5,0 |
3. |
Жесткость общая, мг-экв/л |
7,0 |
6,0 |
0,35 |
4. |
Мутность по стандартной шкале, мг/л, не более |
2,0 |
1,5 |
- |
5. |
Сульфаты, мг/л, не более |
500 |
50 |
0,5 |
6. |
Хлориды, мг/л, не более |
350 |
35 |
0,02 |
7. |
Нитраты, мг/л, не более |
45 |
15 |
0,2 |
8. |
Фосфаты, мг/л, не более |
30 |
3,5 |
1,0 |
9. |
Аммиак, мг/л, не более |
10 |
5,0 |
0,02 |
10. |
Нефтепродукты, суммарно, мг/л, не более |
0,5 |
0,3 |
- |
11. |
Химическое потребление кислорода, мг/л, не более |
150 |
50 |
- |
12. |
Остаточный хлор, мг/л, не более |
1,7 |
1,7 |
- |
13. |
ПАВ, мг/л, не более |
5,0 |
1,0 |
- |
14. |
Ионы тяжелых металлов, мг/л, не более |
15 |
5,0 |
0,4 |
|
в том числе:железо, суммарно |
0,3 |
0,1 |
0,05 |
|
медь, суммарно |
1,0 |
0,3 |
0,05 |
|
никель, суммарно |
5,0 |
1,0 |
- |
|
цинк |
5,0 |
1,5 |
0,2 |
|
хром |
5,0 |
0,5 |
- |
15. |
Удельная электропроводность, мкСм/см |
20 |
10 |
5,0 |
|